Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

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その他

マグネトロンスパッタ

メーカー/型番

㈱ 真空デバイス/MSP-1S

装置概要

白金ターゲットを使用したマグネトロンタイプのイオンスパッタで膜厚制御が出来る完全自動スパッタコーターです。
設置場所

42-1号館　203号室

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