Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

その他

プラズマプラチナコーター

メーカー/型番

JEOL(日本電子)/JFC-1600

装置概要

白金ターゲットを使用したマグネトロンタイプのイオンスパッタコーターです。FE-SEM等の高分解能像観察に最適な導電膜(均一性、超微粒子性)が得られます。 試料を回転傾斜可能なジンバル機能も付加しています。

設置場所

42-1号館 205号室

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