プラズマプラチナコーター

メーカー/型番

JEOL（日本電子）/JFC-1600

装置概要

白金ターゲットを使用したマグネトロンタイプのイオンスパッタコーターです。FE-SEM等の高分解能像観察に最適な導電膜（均一性、超微粒子性）が得られます。　試料を回転傾斜可能なジンバル機能も付加しています。

設置場所

42-1号館　205号室

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