メーカー/型番
JEOL(日本電子)/JFC-1600
装置概要
白金ターゲットを使用したマグネトロンタイプのイオンスパッタコーターです。FE-SEM等の高分解能像観察に最適な導電膜(均一性、超微粒子性)が得られます。 試料を回転傾斜可能なジンバル機能も付加しています。
設置場所
42-1号館 205号室
メーカー/型番
JEOL(日本電子)/JFC-1600
白金ターゲットを使用したマグネトロンタイプのイオンスパッタコーターです。FE-SEM等の高分解能像観察に最適な導電膜(均一性、超微粒子性)が得られます。 試料を回転傾斜可能なジンバル機能も付加しています。
42-1号館 205号室