クライオイオンスライサ

メーカー/型番

JEOL（日本電子）/ IB-09060CIS

装置概要

数mm角(3×1mm)で厚さ100μm程度に切り出された試料の両面にArイオンビームを照射できるようにイオン銃を±5°程度傾斜させながら試料中央に穴があくまでイオンエッチングを行いTEMの試料作製を行う。液体窒素冷却雰囲気での加工も可能。

設置場所

42-1号館　310号室

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