メーカー/型番
ACCENT/ HL5500PC
装置概要
基盤上の薄膜などの固有抵抗値、キャリア濃度及び移動度を測定が可能
主な仕様
測定試料を最適な環境下で評価できるように構成されている為、低抵抗値から高抵抗(約10000Ω)の広い範囲に対応可能
また、クライオスタットを用いて低温の温度依存測定も可能
設置場所
42-1号館307室
利用料金
1時間 100円
クライオ使用時 1時間250円
ACCENT/ HL5500PC
基盤上の薄膜などの固有抵抗値、キャリア濃度及び移動度を測定が可能
測定試料を最適な環境下で評価できるように構成されている為、低抵抗値から高抵抗(約10000Ω)の広い範囲に対応可能
また、クライオスタットを用いて低温の温度依存測定も可能
42-1号館307室
1時間 100円
クライオ使用時 1時間250円