表面粗さ計
- Posted
- 2018年11月2日(金)
メーカー/型番
HORIBA/ Dektak 6M
装置概要
触針式の表面形状測定器
基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりを高精度に測定可能
主な仕様
触針式の表面形状測定器
基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりを高精度に測定可能
設置場所
42-1号館214室
早稲田大学 各務記念材料技術研究所
Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology
