Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

メーカー/型番

TSL/OIM7

装置概要

結晶性試料に大きく傾斜して照射された電子は結晶内でブラッグ反射し、後方散乱電子として試料から放出される。その回折パターンを検出器上に投影し、指数付を行うことで結晶方位を解析する。
また指定する領域に電子線を点照射し連続的に回折パターンを収集することでミクロな材料組織の評価を行うことができる。これにより、指定領域の結晶方位分布、極点図、逆極点図、平均結晶粒径の算出、歪分布評価が可能となる。

主な仕様

ショットキータイプの電界放射型電子顕微鏡（超高真空10^-8Pa）に搭載
Arイオンガン、オージェ電子検出器（AES）を併用装備
最小プローブ径（分析時）　：8 nm（25 kV, 1 nA）

設置場所

42-1号館209室

利用料金

1時間　1500円

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