電界放出形オージェ電子分光装置

メーカー/型番

JEOL（日本電子）/JAMP-9500F

装置概要

オージェ電子分光（AES）は固体試料に電子線を照射し、発生するオージェ電子を分光することにより試料の極表面（数原子層）における元素分析（定性、定量）、化学状態分析、オージェ電子による元素マッピング等、表面から数nm程度の深さの元素分析が可能。
装置構成は電界放出形走査電子顕微鏡にオージェ分光器を取り付けたのもので、二次電子像を観察しながら分析領域を決めることができる。また深さ方向分析のため、試料表面をイオンエッチングに用いるArイオン銃を装備。なお、試料室はオージェ電子検出のため、10^-8Paの超高真空に保たれている。

主な仕様

二次電子分解能：3 nm（25 kV、10 pA）
オージェ分析時の最小プローブ径：8 nm（25 kV, 1 nA）

設置場所

42-1号館209室

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