メーカー/型番
JEOL(日本電子)/JAMP-9500F
装置概要
オージェ電子分光(AES)は固体試料に電子線を照射し、発生するオージェ電子を分光することにより試料の極表面(数原子層)における元素分析(定性、定量)、化学状態分析、オージェ電子による元素マッピング等、表面から数nm程度の深さの元素分析が可能。
装置構成は電界放出形走査電子顕微鏡にオージェ分光器を取り付けたのもので、二次電子像を観察しながら分析領域を決めることができる。また深さ方向分析のため、試料表面をイオンエッチングに用いるArイオン銃を装備。なお、試料室はオージェ電子検出のため、10-8Paの超高真空に保たれている。
主な仕様
二次電子分解能:3 nm(25 kV、10 pA)
オージェ分析時の最小プローブ径:8 nm(25 kV, 1 nA)
設置場所
42-1号館209室
利用料金
1時間 1500円