カソードルミネッセンス検出器
- Posted
- 2018年11月2日(金)
メーカー/型番
GATAN/MonoCL3
装置概要
カソードルミネッセンス（CL）は、試料に電子線を照射したときに、試料を構成する原子の価電子帯の電子が励起され、生成された正孔と電子が再結合する時に放出される光である。
SEM像で場所の確認を行いながら任意の場所で、CL観察・測定をすることで結晶欠陥、不純物、キャリヤ濃度、応力等の状態分析を行うことができる。
CL測定：波長分解CLスペクトル分析、波長分解CLイメージを得ることができる。
主な仕様
光学範囲：185～850 nm
波長分解能：0.1nm
HT範囲：0-1000 V
設置場所
42-1号館203室
