Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学各務記念材料技術研究所

JEOL（日本電子）/JSM-7001F

電界放出形電子銃搭載（ショットキータイプ）
試料表面に電子線を照射し、表面構造を拡大、観察できる。
反射電子検出器を搭載、組成像と凹凸像を得ることができる。
◆オプションとしてエネルギー分散形X線分析装置（EDS）を装備。
微小部の元素分析、元素マップを得ることができる。（元素範囲B～Uまで）

加速電圧：0.5 kV～30 kV
二次電子分解能：　1.2nm (30kV)

42-1号館203室

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