電界放出形走査電子顕微鏡
- Posted
- 2018年11月2日(金)
メーカー/型番
JEOL（日本電子）/JSM-6500F
装置概要
電界放出形電子銃搭載。（ショットキータイプ）
試料表面に電子線を照射し、表面構造を拡大、観察できる。
反射電子検出器を搭載、組成像と凹凸像を得ることができる。
◆オプションとしてエネルギー分散形X線分析装置 （EDS）を装備。
微小部の元素分析、元素マッピングを得ることができる。（元素範囲B～Uまで）
◆オプションとしてカソードルミネッセンス検出（MonoCL3：GATAN）を装備
波長分解CLスペクトル分析、波長分解CLイメージを得ることができる。（光学範囲：185 nm〜850 nm）
主な仕様
加速電圧：0.5 kV～30 kV
二次電子分解能：1.2 nm (30kV)
設置場所
42-1号館205室
