メーカー/型番
JEOL(日本電子)/JEM-2010
装置概要
加速電圧 200 kV の高分解能透過電子顕微鏡。(LaB6電子銃搭載)
試料を透過した電子(透過電子、散乱電子、弾性散乱電子)を結像し、高い倍率が得られる。
制限視野電子回折法を利用する事により微少領域の結晶構造がわかる。
◆オプションとしてエネルギー分散形X線分析装置 (EDS)を装備。
微小部の元素分析を行うことができる。(元素範囲B~Uまで)
主な仕様
加速電圧:200 kV
分解能:0.23 nm(粒子像)、0.14 nm(格子像)
対物レンズ:焦点距離 2.3mm、球面収差係数 1.0 mm、色収差係数1.5 mm、最小焦点可変量 1.5 nm
傾斜角 :X/Y ±35/±30°
設置場所
42-1号館204室
利用料金
1時間 500円