メーカー/型式
JEOL(日本電子)/JEM-1400Flash
装置概要
加速電圧 120 kV の分析透過電子顕微鏡。(LaB6電子銃搭載)
試料を透過した電子(透過電子、散乱電子、弾性散乱電子)を結像し、拡大像が得られる。
制限視野電子回折法を利用する事により微少領域の結晶構造がわかる。
STEM機能搭載により走査透過測定が可能。
◆オプションとしてエネルギー分散形X線分析装置 (EDS)を装備。
微小部の元素分析、元素マッピングを行うことができる。
主な仕様
加速電圧: 120 kV
TEM分解能:0.38 nm(粒子像)、0.2 nm(格子像) STEM明視野像(Edge to edge): 2.0 nm
倍率: TEM ×10 ~ 1,200,000、STEM ×5,000 ~ 2,000,000
対物レンズ 焦点距離: TEM 3.6mm、STEM 4.0mm
対物レンズ 球面収差係数: TEM 3.1mm、STEM 2.1mm
対物レンズ 色収差係数: TEM 2.8mm、STEM 2.8mm
対物レンズ 最小焦点可変量: TEM 4.8nm、STEM 3.3nm
最大試料傾斜角 : ±25° (標準ホルダー)
設置場所
42-1号館302A室