平面イオンミリング

メーカー/型番

サンユー電子㈱/SVM－730

装置概要

機械研磨の最終仕上げであるバフ研磨を終えても試料表面は機械研磨時の応力を受けて結晶性の試料はひずみを生じている。これらのひずみをArイオンビームを試料表面に2°程度照射してイオンエッチングを行い研磨時のひずみを取り除く。

設置場所

42-1号館　310号室

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