イオンポリシング

メーカー/型番

GATAN/Model　691PIPS

装置概要

あらかじめ100μm程度に薄く加工した試料にArイオンビームを照射してイオンエッチングを行い（中心部に小さな穴が開く程度）、TEMの試料を作成する。

設置場所

42-1号館　310号室

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