早稲田大学 各務記念材料技術研究所
Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology
ACCENT/ HL5500PC
基盤上の薄膜などの固有抵抗値、キャリア濃度及び移動度を測定が可能
測定試料を最適な環境下で評価できるように構成されている為、低抵抗値から高抵抗(約10000Ω)の広い範囲に対応可能 また、クライオスタットを用いて低温の温度依存測定も可能
42-1号館307室
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