Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

  2. その他
  3. 表面粗さ計

その他

表面粗さ計

メーカー/型番

HORIBA/ Dektak 6M

装置概要

触針式の表面形状測定器
基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりを高精度に測定可能

主な仕様

触針式の表面形状測定器
基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりを高精度に測定可能

設置場所

42-1号館214室

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