JEOL（日本電子）/JSM-6510LA
タングステンヘヤピン形電子銃搭載。
試料表面に電子線を照射し、表面構造を拡大、観察できる。
倍率は10倍程度～数万倍程度。
反射電子検出器を搭載、組成像と凹凸像を得ることができる。
倍率 ×18～300,000（実質20,000くらいまで）
加速電圧 0.5～30kV（通常15～30kV で使用）
二次電子分解能：3.5nm
Ⅹ：20mm Y：10mm Z：5～48mm
傾斜：-10～90° 回転：360°
大型高感度半導体反射電子検出器
42-1号館310室
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