走査電子顕微鏡
- Posted
- 2018年11月2日(金)
メーカー/型番
JEOL（日本電子）/JSM-6510LA
装置概要
タングステンヘヤピン形電子銃搭載。
試料表面に電子線を照射し、表面構造を拡大、観察できる。
倍率は10倍程度～数万倍程度。
反射電子検出器を搭載、組成像と凹凸像を得ることができる。
主な仕様
倍率 ×18～300,000（実質20,000くらいまで）
加速電圧 0.5～30kV（通常15～30kV で使用）
二次電子分解能：3.5nm
Ⅹ：20mm Y：10mm Z：5～48mm
傾斜：-10～90° 回転：360°
アクセサリー
大型高感度半導体反射電子検出器
設置場所
42-1号館310室
