Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

メーカー/型番

JEOL（日本電子）/JEM-2100F

装置概要

高輝度で高い干渉性の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃（FEG）を搭載した高分解能多目的透過電子顕微鏡。（ショットキータイプ）
ナノスケールオーダの超高分解能像観察・結晶構造解析が可能。
STEM機能搭載により走査透過像（STEM-HAADF）測定が可能。
◆オプションとしてエネルギー分散形X線分析装置 （EDS）を装備。
微小部の元素分析、元素マッピングを得ることができる。（元素範囲B～Uまで）
◆オプションとして反射電子/２次電子検出器（MCP）を装備。
２次電子像、反射電子像の観察が可能。

主な仕様

加速電圧：200 kV
分解能：0.19 nm（粒子像）、0.1 nm（格子像）
対物レンズ：焦点距離 1.9 mm、球面収差係数 1.1 mm、色収差係数 1.1 mm、最小焦点可変量 1.0 nm
傾斜角 ：X/Y　 ±25/±25°
EDS(Si(Li)型検出器)：立体角(30mm2) 0.13 sr.、取り出し角(30mm2) 25°

設置場所

42-1号館212室

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