概要
FE－SEM（FE－TEM）に装着されているエネルギー分散形X線分析装置の分析ソフトの一種です。
本ソフトはSEMとEDSが良くインテグレーションされたシステムでオンライン分析はもちろん収集済みのデータを元に後日オフラインとして別コンピュータにて処理できるソフトです。
特徴
- SEMとEDSのインテグレーションシステムです
- ”画像中心の観察分析・融合システム”を、基本コンセプトとして、
モータ駆動ステージ（3軸又は5軸）と連動させることで
広領域の観察と分析を行う。 - 広領域の観察分析の効率を高める
”簡易モンタージュ”や”ピンポイントナビ”も可能。 - 複数の視野に跨る、点・エリア分析・元素マッピングの連続実行、
広領域元素マッピング及び生成されるデータファイルの一元管理を行う。
