Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

メーカー/型番

JEOL（日本電子）/JPS-9010

装置概要

試料に一定エネルギーのX線を照射すると光電子効果によって試料表面から光電子（電子）が放出される。この光電子のエネルギー（光電子の速度）を測定することで、試料極表面（数原子層）の元素分析（定性・定量）、化学結合状態を評価することができる。
深さ方向分析のため試料表面をイオンエッチングに用いるArイオン銃を装備。
なお、試料室は光電子検出のため、10^-8Paの超高真空に保たれている。

主な仕様

標準X線源の場合（清浄で平滑な銀試料の3d5/2光電子スペクトルをMgkα 励起した場合（300W換算））
分解能：
0.90 eV（強度540,000）、1.15 eV（強度1,800,000）、1.8 eV（強度5,000,000）
単色化X線源の場合（清浄で平滑な銀試料の3d5/2光電子スペクトルをAlkα 励起した場合（600W換算））
分解能：
0.65 eV（強度65,000）

設置場所

42-1号館211室

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