Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

メーカー/型式

JEOL（日本電子）/JXA-8230

装置概要

電子線を細く収束させた電子プローブで走査電子顕微鏡の機能を使い、二次電子・反射電子像を観察しながら波長分散型の特性Ⅹ線分光器を用いて、点・線・面分析で表面の元素分析（定性、定量）を行う。
また、画像に対応した元素定量カラーマッピングや組成像を得ることができる。

主な仕様

分析可能元素：B－U
X線分光器数:5基
CH1　分光器：XM-86030, H        結晶：LIFHS, PETHS    検出器：XPCH
CH2　分光器：XM-86010, XCE   結晶：TAPJ, 86LDE2    検出器：GPC
CH3　分光器：XM-86010, XCE   結晶：LIF, PETJ             検出器：XPC
CH4　分光器：XM-86030, H        結晶：LIFHS, PETHS    検出器：XPCH
CH5　分光器：XM-86030, H        結晶：LDE1H, LDE2H   検出器：GPCH

設置場所

42-1号館207室

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