電子プローブ微小部分析装置
- Posted
- 2018年11月2日(金)
メーカー/型式
JEOL（日本電子）/JXA-8230
装置概要
電子線を細く収束させた電子プローブで走査電子顕微鏡の機能を使い、二次電子・反射電子像を観察しながら波長分散型の特性Ⅹ線分光器を用いて、点・線・面分析で表面の元素分析（定性、定量）を行う。
また、画像に対応した元素定量カラーマッピングや組成像を得ることができる。
主な仕様
分析可能元素：B－U
X線分光器数:5基
CH1 分光器：XM-86030, H 結晶：LIFHS, PETHS 検出器：XPCH
CH2 分光器：XM-86010, XCE 結晶：TAPJ, 86LDE2 検出器：GPC
CH3 分光器：XM-86010, XCE 結晶：LIF, PETJ 検出器：XPC
CH4 分光器：XM-86030, H 結晶：LIFHS, PETHS 検出器：XPCH
CH5 分光器：XM-86030, H 結晶：LDE1H, LDE2H 検出器：GPCH
設置場所
42-1号館207室
