Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology早稲田大学 各務記念材料技術研究所

メーカー/型番

JEOL（日本電子）/JSM-7800F　PRIME

装置概要

電界放出形電子銃搭載。（ショットキータイプ）
試料表面に電子線を照射し、表面構造を拡大、観察する。
特徴としては、試料にマイナスの電圧を掛け入射電子を減速し、極低加速電圧での最表面構造（数nm）観察を可能とする。
実用的に最終加速電圧100V～。
また極低加速電圧での測定は、絶縁物試料の形態観察においてチャージアップ（帯電現象）による像障害を抑えることができ、絶縁物試料であっても金属コーティング等を行うことなく、最表面の形態観察を行うことができる。
標準および極低加速用反射電子検出器を搭載、それぞれの条件で組成像と凹凸像を得ることができる。

主な仕様

加速電圧：0.01 kV～30 kV
二次電子分解能：0.7 nm (15 kV)、0.7 nm (1 kV)、
3.0 nm (5 kV、WD10 mm、5 nA)

設置場所

42-1号館001B室

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