自己紹介
- 博士（工学）（名古屋大学）
- 日本の半導体産業復活に向けた機運が盛り上がっています。半導体について勉強してみませんか？半導体デバイス材料の面白さと不思議さを楽しみましょう。
- 早稲田大学研究者データベース
- 志村研究室ホームページ
- Email : shimura(at)aoni.waseda.jp *(at)は@に置き換え
研究テーマ・領域
半導体デバイス材料工学
放射光を用いた先端半導体材料評価と次世代光電子融合デバイス開発
日本の半導体産業復活に向けた機運が盛り上がっています。日本政府は半導体デバイス工場を誘致・支援し、先端デバイスの国産化に向けた取り組みを進めています。私は第３世代放射光施設SPring-8の放射光を用いた先端材料評価や次世代光電子融合デバイスに向けたゲルマニウム受発光素子の開発で貢献したいと思います。
- 先端半導体デバイス用放射光ナノX線回折評価システムの構築
- 半導体基板評価用ハイスループットX線トポグラフィ装置の開発
- 光電子融合デバイスに向けたゲルマニウム受発光素子開発
- 半導体デバイスの材料・プロセス工学
- 放射光を用いた先端半導体材料材料評価
- IV族半導体のバンドエンジニアリング
- ナノX線回折
