自己紹介 
- 博士(理学) (東京大学)
- センサからアクチュエータまで、様々な分野に応用されているMEMSの研究を一緒にやりませんか?趣味はジョギングとロードバイクとドライブです。
- 早稲田大学研究者データベース
- Email : t.ikehashi(at)waseda.jp
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研究テーマ・領域
マイクロ電気機械システム
ミクロンサイズの機械部品をセンサなどに応用するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究を行っています。これまでに加速度センサや圧力センサなど、様々なMEMS製品が実用化されていますが、小型で低価格のセンサを大量に使用するIoTの時代に入り、MEMSの重要性はますます高まっていくと考えています。
当研究室では様々なアプローチでMEMSデバイスの研究に取り組んでいます。例えば、まだMEMSで実現できていない新しいセンサを作ったり、信号処理技術を活用してMEMSセンサの精度を上げる研究を行っています。市販のMEMSセンサを用いてIoTシステムに応用する研究も行っています。また、高Q値の共振器が作りやすいといったMEMSのメカニカルな特徴を活かして、集積回路の性能を向上させる研究も行っています。
- MEMSセンサ(モード局在化センサ、振動計、ジャイロ、フローセンサ)
- MEMS応用システム
- MEMS-回路融合デバイス