Graduate School of Information, Production and Systems早稲田大学 大学院情報生産システム研究科

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犬石研究室

犬石研究室の紹介

修士課程2年 劉蝶依

私たちは犬石研究室でIGBT等のパワー半導体デバイスや高耐圧ICに用いられる横型DMOS(LDMOS),横型IGBT(LIGBT)デバイスの構造及び製造プロセスを研究しています。プロセス・デバイスシミュレーションや回路シミュレーションにより、最適な半導体デバイスの構造・プロセスを設計し、ひびきのにある共同開発センターで実際にチップを作り、性能を評価して、シミュレーションによるデバイス構造・プロセスが実現できるかどうかをチェックします。もし実現できないならば、その原因を解析します。簡単に言えば、私達の研究目標は主に以下の三つの方面に分けられています:
1.高性能な高耐圧半導体のデバイス構造をプロセスとデバイスシミュレーションにより研究します。
2.回路シミュレーション用の高出力半導体のデバイスをモデリングします。
3.パワー半導体デバイスの製造と信頼性の研究。
大学院一年生の時は知識の蓄積の段階です。半導体デバイスや半導体工業製造に関するコースを勉強しました。研究生の二年生から、私たちは徐々にシミュレーションソフトを使って、異なる半導体構造の特性を観察し、自分で設計し、半導体デバイスの性能を最適化することを考え始めました。最後に半導体の実際の製造に参加して、チップの設計から完成までの全過程を十分に理解します。
犬石先生はとても優しくて、学習上でも生活上の問題でも、教授は私たちの立場に立って問題を解決してくれます。私たちが研究している人数は多くないですが、皆さんはとても仲がいいです。普段はお互いに尊重して研究室で静かに勉強し、プライベートでは食事に出かけたり、旅行に誘ったりします。
つまり、犬石研究室は先端のパワー半導体を学ぶところであり、家のように暖かいところでもあります。

チップ作成の様子

犬石教授と学生

研究室のみんなで会食

 

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