研究室の付さん（左）上林さん（中央）と指導教員の水野教授（右）
コンセプト図
国際学会”2017 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference” (ICEP-IAAC2017)において、本研究機構で研究を進めるナノ理工学専攻 修士1年の上林拓海さん（指導教員：ナノ・ライフ創新研究機構 水野潤 教授、理工学術院 庄子習一 教授）が、”ICEP2017 IEEE CPMT Japan Chapter Young Award”に選出されました。
【研究題目】
“Fabrication of Self-Standing Curved Film with Pillar Arrays by Large Area Spherical Soft-UV Imprint Lithography”
Takumi Kamibayashi, Hiroyuki Kuwae, Atsuki Nobori, Shuichi Shoji, and Jun Mizuno (Waseda University)
【研究概要】
本研究では、ソフトUVインプリントリソグラフィーを応用して、パターニングされた曲面形状の薄いフィルムを作製する技術を確立しました。さらには、UVインプリントにおいて課題とされている”残膜”を残すことなく、残膜レスなインプリントにも成功しました。これまでの作製手法に比べて、容易に曲面形状の薄いフィルムを作製できるため、今後3Dデバイスの作製に応用されることが期待されます。
