黒田 一幸(理工学術院教授 機構長)
朝日 透 (理工学術院教授 副機構長)
庄子 習一(理工学術院教授 副機構長)
宇髙 勝之(理工学術院教授 低消費電力光インターコネクション研究所長)
竹山 春子(理工学術院教授 規範科学総合研究所長)
松方 正彦(理工学術院教授 ナノプロセス研究所長)
逢坂 哲彌(ナノ・ライフ創新研究機構 特任研究教授)
門間 聰之(理工学術院教授)
本間 敬之(理工学術院教授)
小山 泰正(理工学術院教授)
鷲崎 弘宜(研究推進部副部長(研究支援担当))
細井 肇(ナノ・ライフ創新研究機構事務長)
牛山 誠(研究戦略監) 尾島 浩幸(研究戦略監) 百鬼 史訓(研究戦略監)
橋本 正洋(研究戦略監) 前田 裕子(研究戦略監) 村上 明男(研究戦略監)
森 康郎(研究戦略統括監)
細井 肇(事務長)
他 事務員5名
(2020年12月時点)