Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構が管理運営するナノテクノロジーリサーチセンター（NTRC）では、「電界放出型走査電子顕微鏡（SU8240）及び集束イオン/電子ビー ム加工観察装置（NB5000）」について、「遠隔サポートシステム ExTOPE EM（日立ハイテク製）」の利用を2020/12/23より開始しました。本システムは、「2020年度文部科学省第二次補正予算：先端研究設備整備補助事業（研究活動再開等のための研究設備の遠隔化・自動化による環境整備）」の支援を受けて、コロナ禍・コロナ後の研究活動をサポートする研究環境構築の一環として、リモートでの観察データの共有や、電子顕微鏡の遠隔操作を可能とするものです。（図1,2）

図1：遠隔操作、観察の概念図

図2：実際のシステム（NB5000）

お問合せ

今後の利用の詳細についてはNTRC（[email protected]）までお問い合わせください。