Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

第23回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate2017、1月31日-2月1日開催）において、本研究機構で研究を進めるナノ理工学専攻 修士2年の金田達志さん（指導教員：ナノ・ライフ創新研究機構 水野潤 教授、理工学術院 庄子習一 教授）が、「Mate2017優秀発表賞」を受賞しました。

【発表タイトル】
ナノポーラス金接合に向けた真空紫外光による表面前処理
○金田達志，岡田愛姫子，付偉欣，庄子習一，齋藤美紀子(早稲田大学)，西川宏(大阪大学)，水野潤(早稲田大学)

【研究概要】
オゾン真空紫外光（VUV/O3）処理技術は、酸素ラジカルによる化学的な反応を用いるため、熱ダメージ及びイオン衝撃を避けることが可能です。本研究では、低温フリップチップ接合において、VUV/O3処理技術を用いたナノポーラス金接合を提案しました。その結果、ナノポーラス金へダメージを与えること無く表面の有機汚染物の除去を達成し、さらには、接合強度を向上させることに成功しました。