国際学会IMPACT-IAAC 2016において、本研究機構で研究を進めるナノ理工学専攻 修士2年の野村和哉さん(指導教員:ナノ・ライフ創新研究機構 水野潤 教授、理工学術院 庄子習一 教授)が、Student Packaging Paper Awardを受賞しました。
【研究内容】
本研究では、サブミクロンサイズの金粒子の簡易な埋め込み手法により、ガラス基板に貫通電極及び突起電極を一括形成する技術を確立しました。これまでの電気めっきを用いた形成手法に比べて短時間に形成できるため、今後のICデバイスの3次元実装に適用されることが期待されます。
【論文詳細】
“Simultaneous Fabrication of a Through-Glass Interconnect Via and Bumps Using Dry Filling Process of Submicron Gold Particles” 野村和哉、岡田愛姫子、庄子習一、小柏俊典、水野潤