Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

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FIBを使用した流体デバイスの作製プロセスと微小液滴の作製

IEEE NANO 2016, 16th International Conference on Nanotechnology “Fabrication Process of Fluidic Devices for Producing Fine Droplets Using a Focused Ion Beam System”
ナノ・ライフ創新研究機構 次席研究員 野﨑義人,横浜国立大学 准教授 金井俊光,ナノ・ライフ創新研究機構 研究院准教授 由比藤勇

キーワード:FIB,流体デバイス,液滴

*成果のポイントIEEE

  • FIB加工により幅780 nm、深さ560 nm、長さ5.0 µmのチャンネルを再現性よく50本作製した。複数チャンネルをFIB加工で効率よく作製できることを示した。
  • 作製した流体デバイスを使用して、水中に直径3 µm程度の単分散で安定なシリコーンオイルの微小液滴を作製することができた。単分散微粒子やマイクロカプセルの作製に応用できると考えられる。
  • 今後はさらに小さいサイズ(100 nm程度)のチャンネルを作製することにトライし、さらに小さいサイズの液滴を作製することを目指す。
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