Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

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微細加工技術の基礎講義を開催しました(5/29,30)

seminar

ナノテクノロジー研究センター(NTRC)の先端機器について、利用する学生の皆さんが理解を深め、自身の研究に役立てていくことを目的として、5月29日・30日に『微細加工技術の基礎 ~真空技術、成膜技術、リソグラフィー、エッチング~』を開催し、2日間で10研究室から計44名の参加者がありました。

今回の講習会では、微細加工に関連した真空技術・薄膜形成・パターニング法に関する原理と装置の基礎、及びNTRCで得られた実データの紹介が盛り込まれた実践的な内容について講義が行われました。また、参加者の大半を占めた新規配属者に配慮し、積極的に疑問点を挙げていただき質疑応答の時間も設けられました。

NTRCでは、今後もこのような講習会を開催していく予定です。現在NTRCをご利用いただいている方々はもちろん、今後利用を検討されている学内外の皆様もお気軽にお問い合わせください。

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