ナノテクノロジー研究センター(NTRC)の先端機器について、日ごろ利用する学生の皆さんが理解を深め、自身の研究に役立てていくことを目的として、11月28日に『微細加工技術の基礎』~ 真空技術、成膜技術、リソグラフィー、エッチング~ を開催しました。
今回の講習会は少人数での開催となり、微細加工に関連した真空技術、薄膜形成、パターニング法に関する原理と装置の基礎についてNTRCで得られた実データの紹介が盛り込まれた実践的な内容の講義とともに、質疑応答の時間が多く取られ、個別に具体的な疑問点について話し合いが行われました。
NTRCでは、今後もこのように参加者・人数に合わせて工夫した講習会を開催していく予定です。現在NTRCをご利用いただいている方々はもちろん、今後利用を検討されている学内外の皆様もお気軽にお問い合わせください。