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微細加工技術の基礎講義 開催のお知らせ5月23日(水)5月24日(木)

seminarナノテクノロジー研究センター(NTRC)ではNTRCの装置を活用したい方を対象に、主要な装置の原理や活用事例を紹介する講習会を開催しています。
今回は、微細加工に関連した真空技術、薄膜形成、パターニング法に関する原理と装置の基礎について解説します。NTRCに設置された装置で得た実データの紹介も多く盛り込み、ご自身の研究に即活用できます。
これから微細加工技術を活用して実験・研究を進めようという方、あるいは進めている初級・中級者の早稲田大学に所属する方でしたら、どなたでも無料で参加できます(要事前申込み)。
多くの方々のご参加をお待ちしております。

『微細加工技術の基礎』

*日時
5月23日(水)、5月24日(木)13:30~17:00

*会場
早稲田大学 120-5号館(研究開発センター内)
ナノ・ライフ創新研究機構 ナノテクノロジー研究センター 1F 121会議室

*内容
微細加工に関連する真空、成膜からエッチングまでの基本知識の習得を図る。
13:30~14:00     真空技術        野崎 義人先生(ナノ・ライフ創新研究機構)
14:00~14:45     成膜技術           由比藤 勇先生(ナノ・ライフ創新研究機構)
15:00~15:45     リソグラフィー   由比藤 勇先生
16:00~16:45     エッチング     由比藤 勇先生

*申込み
ナノ・ライフ創新研究機構 NTRC事務局 [email protected] まで
件名を【微細加工講義 申込み】とし、氏名、所属を明記のうえお申込みください。
締切:5月16日(水) 17:00

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