ナノテクノロジー研究センター(NTRC)ではNTRCの装置を活用したい方を対象に、主要な装置の原理や活用事例を紹介する講習会を開催しています。
今回は、微細加工に関連した真空技術、薄膜形成、パターニング法に関する原理と装置の基礎について解説します。NTRCに設置された装置で得た実データの紹介も多く盛り込み、ご自身の研究に即活用できます。
これから微細加工技術を活用して実験・研究を進めようという方、あるいは進めている初級・中級者の早稲田大学に所属する方でしたら、どなたでも無料で参加できます(要事前申込み)。
多くの方々のご参加をお待ちしております。
『微細加工技術の基礎』
*日時
11月9日(木) 13:30~17:00
*会場
早稲田大学 120-5号館(研究開発センター内)
ナノ・ライフ創新研究機構 ナノテクノロジー研究センター 1F 121会議室
*内容
微細加工に関連する真空、成膜からエッチングまでの基本知識の習得を図る。
13:30~14:00 真空技術 野崎 義人先生(ナノ・ライフ創新研究機構)
14:00~14:45 成膜技術 由比藤 勇先生(ナノ・ライフ創新研究機構)
15:00~15:45 リソグラフィー 由比藤 勇先生
16:00~16:45 エッチング 由比藤 勇先生
*申込み
ナノ・ライフ創新研究機構 NTRC事務局 [email protected] まで
件名を【微細加工講義 申込み】とし、氏名、所属を明記のうえお申込みください。
締切:11/6(月)