Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

講習風景

ナノテクノロジー研究センター（NTRC）の先端機器について、日ごろ利用する学生や学外者の皆さんが理解を深め、自身の研究に役立てていただくことを目的として、5月17日および18日に『微細加工技術の基礎』～ 真空技術、成膜技術、リソグラフィー、エッチング～ を開催しました。

今回の講習会では、微細加工に関連した真空技術、薄膜形成、パターニング法に関する原理と装置の基礎について講義が行われるとともに、NTRCで得られた実データの紹介が多く盛り込まれ、実践的な内容となりました。

NTRCでは、今後もこのような講習会を開催していく予定です。現在NTRCをご利用いただいている方々はもちろん、今後利用を検討されている学内外の皆様もお気軽にお問い合わせください。

関連リンク
微細加工技術の基礎講義 開催のお知らせ（5/17, 18）