Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

「ナノテクノロジープラットフォーム事業」は、ナノテクノロジーに関する最先端の研究設備とその活用のノウハウを有する機関が緊密に連携して、全国的な設備の共用体制を共同で構築するものです。早稲田大学も微細加工と次世代蓄電池の分野でナノテクノロジー研究センターの最新設備を広く開放しており、専門スタッフのもとに、技術相談や技術代行、共同研究を進めることができます。技術支援、共用制度の運用を通じて、産業の発展と最先端研究の進展に寄与することを目指します。

早稲田大学が強みとする支援内容

• シリコン、ガラス、樹脂など多様な素材に対応可能かつサイズを選ばないナノマイクロ三次元加工技術
• ナノマイクロ三次元加工を応用したデバイス機能解析/計測に関する支援（グリーンプロセスを利用した加工とデバイス機能計測支援）
• 電気化学反応を利用した機能性薄膜の作製および加工支援
• 電気化学的加工技術による構造体の作製に関する支援
• 企業での豊富な研究開発実績を持つ支援員による技術相談、共同研究の推進。理工学術院教員と連携による強力なサポート体制。

齋藤 美紀子：電気化学全般
関口 哲志　：ナノ・マイクロ加工、ケミカルセンサ、電気計測全般と医療応用
水野 潤　　： ナノ・マイクロ加工、フィジカルセンサ
竹内  輝明   ：磁性体技術、各種観察技術
由比藤 勇　：各種観察技術、半導体プロセス技術全般
河野 敏弘　：半導体プロセス全般、光デバイス技術
佐々木 敏夫：半導体デバイス設計技術、評価計測技術（直流～高周波）
野崎 義人　：薄膜作製、薄膜加工技術全般
田中 大器　：半導体プロセス、マイクロ化学チップの製作評価技術