各務記念材料技術研究所

電界放射型走査電子顕微鏡 JSM-7800F PRIMEの利用開放について

2016年度より材研 分析機器室にて電界放射型走査電子顕微鏡 JSM-7800F PRIMEを利用開放いたしました。
本設備は、試料表面に電子線を照射し、表面構造を拡大、観察するものです。
特徴としては、試料にマイナスの電圧を掛け入射電子を減速し、低加速電圧での観察を可能としています。 低加速電圧での測定は、絶縁試料の形態観察においてチャージアップによる像障害を抑えることができ、 絶縁試料であっても金属コーティング等を行うことなく、最表面の形態観察を行うことができます。

JSM-7800F PRIME

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