装置紹介
各務記念材料技術研究所分析機器室に、以下の2台の装置が設置されました。8月1日からの共同利用設備としての利用をスタートする予定です。
| 装置名 | 電界放出型透過型電子顕微鏡 |
| 外観 | 
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| 装置概要 | 透過された電子（透過電子、散乱電子、弾性散乱電子）を結像し、高い倍率が得られる。 制限視野電子回折法を利用する事により微少領域の結晶構造がわかる。 本装置は電子銃が電界放出型(ショットキー)のためビームの輝度が高く、通常装置より高い分解能の像を得ることができる。 また、ＳＴＥＭ機能も装備されており走査透過像（ＳＴＥＭ－ＨＡＡＤＦ）を得ることもできる。さらにＥＤＳによる微小部の元素分析、組成マップを得ることができる。 |
| 設置場所 | 42-1号館 212室 |
| 装置名 | 電子プローブ微小部分析装置(EPMA) |
| 外観 |  |
| 装置概要 | 試料表面に電子を照射することにより特性Ｘ線が発生します。 この特性Ｘ線を波長分散し光量子の数の測定することにより、 微小領域の精密な定量分析ができます。（標準試料が必要） また、入射ビームあるいは試料ステージの走査により組成分布 のＭＡＰが得られます。 |
| 設置場所 | 42-1号館 207室 |