・ LIBSによる超微粒子の成分形状計測
・ LIBSの較正技術に関する基礎研究
・ レーザービームデリバー技術の研究
・ レーザー変位計の開発
・ フォトニッククリスタルによる
高感度ガス成分のセンシング

・ α水晶の三次元精密加工に関する基礎研究
・ 次世代高周波振動子の加工技術に関する研究
・ 高精度小型水晶傾斜センサに関する研究
・ 高感度微小容量検出回路に関する研究
・ レジストスプレー塗布技術に関する研究
・ デジタル画像処理技術に関する基礎研究
・ X線膜厚計用標準器と膜厚計に関する研究
・ 白金薄膜熱抵抗変化型水素センサに関する研究