2009年度植田研究室の研究発表論文

Scientific papers published by Ueda Laboratory in 2009 Fiscal

(1st April 2009〜 31st March 2010)



研究業績



@著 書


1. 植田敏嗣 監修, "MEMSデバイス総論", サイエンス&テクノロジー

2. 植田敏嗣 "水晶を用いた各種センサ", MATERIALS INTEGRATION, Vol. 22, No.4, (2009/03/25発売号) (4月号), pp.45-51, (4/2009)


A学術論文


3. Satoshi Ikezawa, Muneaki Wakamatsu, Joanna Pawlat and Toshitsugu Ueda, "Sensing System for Multiple Measurements of Trace Elements Using Laser-Induced Breakdown Spectroscopy ", IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, Vol.129, No.4, April 2009, pp115-119(4/2009)

4. Jinxing Liang, Toshitsugu Ueda, "Improved MEMS structure for stress-free flip-chip packaging", J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Vol. 8, pp. 021118-1 - 021118-5 (5/2009)

5. 杉山 直, 植田 敏嗣, Joanna Pawlat "フォトニックバンドギャップファイバーを用いた微量気体のレーザー分光", IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, Vol.129, No.6, June 2009, pp189-193 (6/2009)

6. Joanna PAWLAT, Xuefeng LI, Tadashi SUGIYAMA, Takahiro MATSUO, Yura ZIMIN Toshitsugu UEDA "Gas sensor based on microstructured optic fiber", PRZEGLAD ELEKTROTECHNICZNY, pp.115-117 (5/2009)

7. Jinxing Liang, Fusao Kohsaka, Takahiro Matsuo, Xuefeng Li, Ken Kunitomo, and Toshitsugu Ueda, "Development of Highly Integrated Quartz Micro-Electro-Mechanical System Tilt Sensor", Japanese Journal of Applied Physics 48, pp. 06FK10-1 - 06FK10-4 (6/2009)

8. Xuefeng Li, Joanna Pawlat, Jinxing Liang, Guan Xu and Toshitsugu Ueda "Fabrication of Photonic Bandgap Fiber Gas Cell Using Focused Ion Beam Cutting", Japanese Journal of Applied Physics 48 (6/2009), 06FK05-1 - 06FK05-5

9. Daisuke Yamazaki, Toshitsugu Ueda "Differential Platinum Thin Film Hydrogen Gas Sensor Fabricated by MEMS Techniques", IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, Vol.130, No.3, March 2010, pp65-68 (3/2010)

10. Yupeng Zhang, Toshitsugu Ueda "Field-Dependent Distortion Coefficient and Backward Mapping for Distortion Correction of Singlet Lens Cameras", IEEJ Transactions on electrical and electronic engineering, published by John Wiley and Sons, Inc, Vol.5, No.2, March 2010, pp203-210 (3/2010)


B研究会・学会発表論文


11. Jinxing Liang, Fusao Kohsaka, Xuefeng Li, Ken Kunitomo, and Toshitsugu Ueda "CHARACTERIZATION OF A QUARTZ MEMS TILT SENSOR WITH 0.001° PRECISION", pp. 308-310, The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems (Transducers 2009), (6/2009)

12. Joanna Pawlat, Xuefeng Li, Takahiro Matsuo, Yura Zimin, and Toshitsugu Ueda "Sensor for measurement of hydrocarbons concentration based on optic fiber", Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VI, Munich, Germany, Monday 15 June 2009

13. 柿本 義典, 山崎 大輔, 植田 敏嗣, "水晶振動子型水素ガスセンサにおける感度低下問題", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_11),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

Presentation Award14. 大井川 寛, 山崎 大輔, 植田 敏嗣, "MS技術を利用した高周波水晶振動子の研究開発", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_12),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

15. Weiwei Pan,水谷 直貴,李 丞祐,山崎大輔, 植田 敏嗣, "高周波水晶振動子を用いた低濃度アンモニア匂いセンサの研究", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_13),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

16. Jiani Wang,大井川 寛,李 丞祐,林 尚典,植田 敏嗣, "水晶ウェハ用ウェットエッチングシミュレーションの研究", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_14),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

17. 林 光輝,梁 金星,津野 徹,植田 敏嗣, "二軸静電容量型傾斜角センサパッケージの開発", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_15),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

18. 張 書,高森 政聡,梁 金星,植田 敏嗣, "MEMSデバイス精密実装のためのフラックスレスリフロー装置の研究開発", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_16),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

19. 王 強,高森 政聡,梁 金星,植田 敏嗣, "MEMSパッケージの気密性における評価システム開発", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_17),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

20. 張 書丙,植田 敏嗣, "センサパッケージ用インクジェット微細配線技術の研究", 第62回 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集, pp (06_2P_18),九州工業大学, 2009年9月28日〜29日

21. Yungfeng Tsou, Toshitsugu Ueda, Tooru Tsuno "Development of the Miniaturized Eddy Current Displacement Sensor Using MEMS Coil", (P-4-14) pp., Proceedings of the 26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied System, October 15-16, 2009, Tokyo, Japan (10/2009).

22. Joanna Pawlat, Xuefeng Li, Takahiro Matsuo, Yura Zimin, Toshitsugu Ueda "Sensing of Ammonia and Hydrocarbons Using Photonic Bandgap Fiber Cell", (P-5-8) pp., Proceedings of the 26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied System, October 15-16, 2009, Tokyo, Japan (10/2009).

23. Joanna Pawlat, Xuefeng Li, Tadashi Sugiyama, Takahiro Matsuo, Yurij Zimin, Toshitsugu Ueda, "Sensing of carbon dioxide and hydrocarbons using photonic bandgap fiber", The 5th International Conference Mechatronic Systems and Materials (MSM 2009) 22-25 October 2009, Vilnius, Lithuania

24. Daisuke Yamazaki, Yoshinori Kakimoto and Toshitsugu Ueda, "Hydrogen gas sensor using quartz resonator", The 8th IEEE Conference on Sensors, Proceedings, (B4P-005)pp., Christchurch, NewZealand, October 25-28, 2009

25.柳 永植, 吉居慎二, 李 雪峰, 植田敏嗣, 北村知昭, 西原達次, "イメージファイバーを用いた根管内観察システム", 平成22年電気学会全国大会, pp.(3-123), 明治大学, 2010年3月17日〜3月19日