二重管式同軸線路型プラズマ化学気相堆積装置（DTCL-MPCVDsystem）を用いて, a-Si:NHナノボール膜を作製し, PL発光の検討を行っています.
地球と人に優しいSi系発光デバイスを目指しています. 環境指向型カラーディスプレイに向かって！！！
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私たちはマイクロ波プラズマCVD装置を用いて, 放電ガスに水素, 材料ガスにTEOSを使い, Si系発光材料を作製し, 発光強度や発光波長について評価・検討をしています.
間接遷移型半導体であるSiを発光させる！！！
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光-電気変換や電子回路を必要としない全光学的なネットワークの実現を目指し研究ています. 具体的には2つの異なる材料の膜を数ナノメートルオーダーで交互に積み重ねた”a-Si:H/SiN多層膜”を応用して、光のTMモードに対してTEモードをカットさせる”a-Si:H/SiN多層膜光導波路”(光スイッチング素子)の研究を行っています.
光コンピュータを目指して！！！
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シングルプローブ法を用いてCVD装置のプラズマパラメータを測定し, a-Si:Hナノボール膜や光導波路の作成条件を考察しています. また電子レンジを用いたプラズマ殺菌に関する研究を行っています. 最近では岩崎研究室に援助してもらいながら, 大腸菌の滅菌に成功することができました. 実は宇宙の99.9%はプラズマ, 地球もプラズマだらけ！！！
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シミュレーション班では、プラズマの発生原因など、微視的な物理現象の解明を目指して研究しています。現実的に実験するには、困難な事、時間のかかる事を、シミュレーションする事がこの班の使命です。さあ、君も一緒にプラズマを解明しよう！！！
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