Research Organization for Nano & Life Innovation早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構

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微細加工技術の基礎講義 開催のお知らせ(7/20, 21)

seminarナノテクノロジー研究センター(NTRC)ではNTRCの装置を活用したい方を対象に、主要な装置の原理や活用事例を紹介する講習会を開催しています。
今回は、微細加工に関連した真空技術、薄膜形成、パターニング法に関する原理と装置の基礎について解説します。NTRCに設置された装置で得た実データの紹介も多く盛り込み、ご自身の研究に即活用できます。
これから微細加工技術を活用して実験・研究を進めようという方、あるいは進めている初級・中級者の早稲田大学に所属する方でしたら、どなたでも無料で参加できます(要事前申込み)。
多くの方々のご参加をお待ちしております。

『微細加工技術の基礎』

*日時
7月20日(水)および21日(木) 13:30~17:00(両日ともに同じ内容)

*場所
早稲田大学 120-5号館(研究開発センター内)
ナノ・ライフ創新研究機構 ナノテクノロジー研究センター 1F 121会議室

*内容
NTRCにある装置を中心に原理、装置構成を解説するとともに、実データからその理解を深めます。

13:30~14:00     真空技術       野崎 義人先生(ナノ・ライフ創新研究機構)
14:00~14:45     成膜技術           由比藤 勇先生(ナノ・ライフ創新研究機構)
15:00~15:45     リソグラフィー  由比藤 勇先生
16:00~16:45     エッチング    由比藤 勇先生
(両日ともに同じ内容)

*申込み
ナノ・ライフ創新研究機構 NTRC事務局 [email protected] まで
件名を【微細加工講義 申込み】とし、氏名、所属、参加希望日時を明記のうえお申込みください。
締切:7/15(金)

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